イットリアに関連する製品一覧

イットリアについて

耐プラズマ性に優れた材料であり、半導体製造装置用部品に求められるパーティクル·不純物汚染低減のご要求に対し、効果を発揮します。また、部品の交換頻度を減らすことが出来ることにより、生産性向上に寄与します。

(あいうえお順)

  • 写真
  • 製品名・部品名/説明文
  • 特長
  • 用途(役割)
写真:リンク先:耐プラズマ材料

耐プラズマ材料

高純度と優れた耐プラズマ性により、部品の長寿命化に貢献します。
  • 耐プラズマ性
  • 低誘電損失
  • チャンバー部品

さまざまなアプローチで探す

キーワード·製品名で探す

ファインセラミックスに関するご相談は、私たちにお任せ下さい。080-6202-8600 受付時間9:00~17:00(弊社営業日)