エッチング装置

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耐プラズマ材料

高純度と優れた耐プラズマ性により、部品の長寿命化に貢献します。
  • 耐プラズマ性
  • 低誘電損失
  • チャンバー部品
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ドーム·チャンバー

高純度と優れた耐プラズマ性により、部品の長寿命化に貢献します。
  • 耐プラズマ性
  • 電気的均一性
  • チャンバー部品
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静電チャック

高純度で、優れた耐プラズマ性と着脱応答性を有し、幅広い温度域に対応します。
  • 耐プラズマ性
  • ウエハ固定/矯正/冷却
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搬送アーム

真空吸着タイプ、各種コーティングが製作可能です。
  • 高温耐久
  • ウエハ運搬

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