液晶製造用装置

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液晶製造装置用大型部品

高剛性、高精度の大型構造部材を提供しています。
  • 高剛性
  • 低反射
  • ガラス保持
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搬送アーム

真空吸着タイプ、各種コーティングが製作可能です。
  • 高温耐久
  • ウエハ運搬

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