成膜装置(CVD・スパッタリング)

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ドーム·チャンバー

高純度と優れた耐プラズマ性により、部品の長寿命化に貢献します。
  • 耐プラズマ性
  • 電気的均一性
  • チャンバー部品
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セラミックヒーター

高純度で、優れた耐プラズマ性と均熱性を有します。
  • 耐プラズマ性
  • 高熱伝導性
  • 均熱性
  • ウエハ加熱用ヒーター

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