ウエハ後加工
用語集

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か行の用語

カセット

ウエハを入れる容器のこと。

カセット

コプラナリティ

Coplanarityは平坦度、平面性、面均一性を指し、はんだバンプに於いてはバンプのウエハ面内の高さの一様性のこと。

個片

ウエハから切り出した1つ1つのICチップのこと。

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