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光学部品(レンズ、光学ユニット)
露光用レンズユニット

露光用レンズユニット

概要
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上下2視野高精度アライメントレンズ
露光用レンズユニット
赤外線用レンズ
露光用レンズユニット

露光装置に搭載される光学ユニットです。
高N.A.、広視野、高解像力の投影レンズを実現しています。また、紫外域でも高い透過性で露光することが可能です。

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