高純度（99.6%）アルミナ基板 |
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京セラは、セラミック基板に薄膜パターン加工したマイクロ波集積回路（MIC）基板を提供しています。セラミック基板には、高純度（99.6%）アルミナ基板や高誘電率基板があります。 |
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・ 誘電率が高いので、マイクロ波回路の小型化が可能。
・ 高周波領域で高いQ値を実現。
・ 比誘電率温度係数が低い為、安定した回路構成が可能。
・ 窒化タンタル（Ta2N）の薄膜抵抗体を形成可能。 |
| セラミック材料コード |
SV380 |
SH890 |
K140 |
| 比誘電率 |
38+/-1 |
89+/-1 |
140+/-2 |
| Q値 |
>4000
（@10GHz）
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>1800
（@2.6GHz） |
>1000
（@5GHz） |
比誘電率温度係数（ppm/K）
20〜60℃ |
-30+/-30 |
-35+/-30 |
900+/-200 |
熱膨張係数（ppm/K）
40〜400℃ |
10.3 |
10.1 |
10.8 |
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| Note:上記の材料物性値は代表値です。これらの値は、材料や工程の改善や変更によって変更されることがあります。 |
| 抵抗体材料 |
Ta2N |
| シート抵抗（Ω/SQ） |
10〜100 |
抵抗値温度係数（ppm/K）
-25〜85℃ |
-100+/-20 |
| 公差トリミングなし |
+/-20% |
| 公差トリミングあり |
+/-3% |
長期信頼性
高温放置（125℃、1000時間）後の
抵抗値変化 |
0.4% max. |
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高誘電率（High K）基板
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