成膜による機能付加
感光体成膜技術を応用した薄膜形成による機能付加が可能です。特に円筒基体への成膜を得意としますが、サイズによっては平面基体への成膜も可能です。
表面保護機能
基体表面に高硬度のアモルファスカーボン(a-C)、アモルファスシリコンカーバイド(a-SiC)を形成することで、製品を摩耗から守ります。
導電性/バンドギャップ制御
膜形成時の成膜条件やドーピングにより、薄膜の導電性制御が可能です。同時にバンドギャップを制御することにより、光透過性の調整も可能です。
表面自由エネルギー制御
膜形成時の成膜条件やドーピングにより、表面自由エネルギーが変化します。これにより、表面の親水・疎水性を制御することができます。
