素管加工技術
当社ではa-Si膜の成膜を行う前にアルミニウム素管に対して、フランジを取り付けるための内径加工、長さや外径などの寸法精度を調整する加工を行います。また、成膜面に対しては平滑度の高い鏡面加工や、LFシリーズでは微細な凹凸を付与する表面加工も行います。
成膜技術（プラズマCVD・反応炉設計）
プラズマCVD
原料ガスをプラズマ化させて分解し、基体上に薄膜を形成する成膜方法。京セラ独自の直流放電を用いた方式で、カラー機に対応できる面内電位均一性を達成しています。
反応炉設計
感光ドラムのサイズに合わせて成膜用反応炉をカスタマイズします。ソフト(成膜条件)とハード(反応炉設計)の両面からドラム性能を構築し、お客様の要求特性にお応えします。
