使用用途例 APPLICATIONS

様々な最新テクノロジーにあわせた用途例をご紹介します。

• IoT / 5G

  

  ・カメラ曇り防止

  etc

• 半導体関連

  

  ・静電チャック(ESC)

  ・ステッパー(露光装置)

  etc

• 科学/医療

  

  ・電子顕微鏡(SEM)

  ・クロマトグラフ/質量分析装置(MS)

  ・DNA分析装置

  etc

• 環境・エネルギー

  

  ・温水洗浄便座

  ・ヘアアイロン

  ・脱臭器(オゾン)

  ・石油ファンヒーター

  ・半田ごて

  etc

• モビリティ

  

  ・EV暖房

  ・ガスセンサー

  ・サーモスタット

  etc

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  用途例：半導体関連 静電チャック

  

  半導体製造においてウェハの吸着固定/温度制御用にアルミナ製の静電チャック(ESC)が使用されています。
  半導体製造プロセスでは、非常に精密な寸法/温度制御が求められるため、京セラ独自のパターンシミュレーション、トリミング技術によって寸法ばらつきと、面内の温度分布をできる限り抑え、高品質な半導体製造に貢献しています。

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  用途例：環境・エネルギー 温水洗浄便座

  

  温水洗浄便座の水加熱用ヒーターとして、京セラ製アルミナヒーターが使用されています。昇温速度の速さにより、予備加熱の必要がなくなり省スペース化、消費電力の削減に貢献しています。
  また、アルミナヒーターを高ワット密度にすることで、ヒーターユニットの小型化にも寄与しています。

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  用途例：モビリティ ガスセンサー

  

  ガスセンサーには、センサー機能活性の為に、高温に加熱するヒーターが使用されているものがあります。
  車載用途では、排ガス中の酸素濃度センサーに採用されており京セラ製アルミナヒーターの高耐久性や、急速昇温特性が、センサーの信頼性向上/立上げ時間短縮に貢献している、車載ヒーターです。

その他、上記以外の用途でも、
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