ファインセラミックス
セラミックスの材料

イットリア Y2O3

プラズマ環境下で優れた耐食性を持つ材料です
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イットリアは耐プラズマ性に優れた材料です。半導体製造装置などでプラズマを使用する製造工程の部品に求められるパーティクルや不純物汚染の低減に効果を発揮します。

重要な特性:
耐プラズマ性
耐食性

特性

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これらの値はテストピースの測定による参考値です。特性値は製品の形状や使用条件により異なる場合があります。
(注1)密度は見掛密度、かさ密度、共に記載の値となります。ただし、多孔質材料についてはかさ密度の値となります。

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製品事例

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