自動車における排気ガス清浄装置の最適制御には、排気ガスフィルタの目詰まりを検出する差圧センサが必要になります。
差圧センサ用パッケージとして耐腐食性の高いセラミックパッケージを展開しています。
特長
構造の自由度
熱膨張係数の
マッチング
マッチング
耐腐食性
- 3次元構造と3次元配線
- Au/Alワイヤボンディングに対応
- 素子との熱膨張係数のマッチング
- 耐腐食性
事例
構造模式図
自動車における排気ガス清浄装置の最適制御には、排気ガスフィルタの目詰まりを検出する差圧センサが必要になります。
差圧センサ用パッケージとして耐腐食性の高いセラミックパッケージを展開しています。
構造模式図