ADASの進展に伴い、車載用慣性センサはより高精度化が求められています。
高剛性かつ高温下で変形しにくい特長を持つセラミックパッケージは、MEMSの変形を抑制することでセンサの特性向上に貢献することができます。
※ADAS：Advanced Driving Assistant System
特長
高剛性
熱による
変形が少ない
変形が少ない
Siに近い熱膨張係数
構造の自由度
気密封止
高剛性
以下は有機基板とセラミック基板の剛性の差がASICに与える影響を確認したシミュレーションです。
基板端に力を加えた際のASICの変形量シミュレーション
基板端部に同じ力を加えた際、セラミック基板は有機基板と比較してASICの変形量が少ないことがわかります。
熱による変形が少ない
以下は有機基板とセラミック基板に熱を加え、素子端部の変形量を比較したシミュレーション結果です。
センサー機能の統合を実現する複合センサーパッケージの提案
