装置の高機能化と軽量化、
高精度な技術開発に貢献する半導体製造装置用
セラミックス
カタログのご紹介

軽量・高剛性・高精度な部品が求められる露光装置や、耐プラズマ性・低パーティクルに加え、耐熱性や低誘電損失等の特性を持った部品が求められるエッチング・成膜装置にセラミックスの採用が拡大しています。
その他にも、セラミックスの機械的特性を活かしたプローバー等の検査装置、ウェハーの切断・バックグラインドやウェハー搬送アーム、サファイアの光透過性を活かした窓、ウェハーキャリアプレート、ウェハーコンタクトリフトピンやプラズマ導入管等に採用頂き、半導体製造装置の高機能化・軽量化・高精度に貢献しています。