セラミックスは添加する組成分の調整により、呈色や電気的特性を付与することができます。光を用いるプロセスに使用される用途には、この特徴を活かして反射を抑える低反射部材が採用されています。また、優れた半導電性を兼ね備え、静電気を効果的に除電可能です。異常放電による製品ダメージを抑え、歩留まり向上に大きく寄与します。さらに、副成分にはCo（コバルト）やNi（ニッケル）などの特定化学物質（特化物）を一切含まず、環境負荷物質の管理が不要な、環境配慮型材料としても高く評価されています。
特長
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低反射率透明なワークの露光プロセスで、部品からの反射を低減し、露光精度の歩留まり向上に貢献します。
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電気的半導電性半導電性を備え、ワークとの摩擦により発生する静電気を速やかに除電。絶縁性ワークのチャッキングにおいて、静電破壊や塵埃の付着を抑制します。
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特定化学物質（特化物）フリーNi（ニッケル）やCo（コバルト）などの特化物を一切含有していません。環境負荷低減に加え、法規制対応のコストを削減可能です。
特性データ
アルミナ、炭化ケイ素、ステンレスと半導電性-黒アルミナ（A1531A）の主な特性比較
| 材質 材質記号 |
アルミナ | 半導電性 黒アルミナ |
炭化ケイ素 | ステンレス | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AO479M | A1531A | SC1000 | SUS304 | ||||
| 呈色 | 象牙色 | 黒色 | 黒色 | - | |||
| 見掛密度 | g/cm3 | 3.9 | 4.0 | 3.16 | 7.9 | ||
| 機械的特性 | ビッカース硬さ HV9.807N | GPa | 15.7 | 13.4 | 23.0 | - | |
| 3点曲げ強度 | MPa | 370 | 350 | 500 | - | ||
| ヤング率 | GPa | 370 | 320 | 440 | 193 | ||
| ポアソン比 | - | 0.23 | 0.23 | 0.17 | 0.29 | ||
| 熱的特性 | 平均線膨張率 | 40～400℃ | ×10-6/K | 7.2 | 7.2 | 3.7 | 10.9 |
| 熱伝導率 20℃ | W/(m・K) | 32 | 12 | 200 | 16.7 | ||
| 比熱容量 | J/(g・K) | 0.78 | 0.77 | 0.67 | 0.50 | ||
| 電気的特性 | 体積抵抗率 | 20℃ | Ω・cm | 1014 | 106～109 | 108 | 72×10-6 |
| 光特性 | 反射率(全反射) | % | >70 | <9 | >15 | - | |
これらの値はテストピースの測定による参考値です。特性値は製品の形状や使用条件により異なる場合があります。
※本データは実験に基づく測定値であり保証値ではありません。
採用例
表面にレジストが塗布されたガラス基板に対し、i線スペクトル光（365nm）で露光する装置のワークチャックにご採用いただいております。
二重露光の抑制
ワークが透明であるため、ワークに届いた光の成分がワークを透過し、ワークチャックの表面に反射してワーク裏面からの反射光（二重露光）が発生します。黒アルミナA1531Aは、i線領域の波長成分を吸収し、ワークの二重露光を抑制します。
静電気による歩留まり低下の抑制
黒アルミナA1531Aは半導電特性を持ち合わせおり、絶縁物のワークとの間で発生する静電気を除電し、スパーク放電によるワークの歩留まり低下を抑制します。
採用例：液晶露光装置、PLP露光装置 など
デザインガイド
最大製作可能サイズを示します。
本ページに記載の数値は全て社内測定による代表値であり、製品の仕様を保証する値ではありません。