セラミックキャリアプレート

グリーン(※)シート積層・グリーン(※)接合技術が高自由度な設計を実現します。 (※)グリーン=成形体
多彩なラインナップ
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パンチング形状
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支柱一体形状
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中空形状
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側面断面図
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側面断面図
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側面断面図
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パンチング形状
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側面断面図
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支柱一体形状
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側面断面図
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中空形状
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側面断面図
アプリケーション技術
ご使用用途に応じて2つのアプリケーション技術をご提案
ガラス接合法
接合界面部
製品参考例
同工法の特長
- 接合後のレーザー加工により、微細かつ高精度な形状を実現
- 複雑な流路や異形状の組み合わせに柔軟に対応可能
グリーン(※)接合法 (※)グリーン=成形体
接合界面部
製品参考例
同工法の特長
- 接合界面が一体化するため、極めて高い接合強度を発揮
- 接合剤を使用しないため、母材と同等の高耐熱性を維持
推奨工程
- 高温熱処理が必要な工程
- 薬液洗浄を伴う工程
- パーティクルを嫌う工程
- 複雑な中空構造や微細な位置決めが求められる搬送工程
特性データ
対応可能な材質:AO476T(96%アルミナ)
| 特性 | 単位 | AO476T | ||
|---|---|---|---|---|
| 材料 | - | - |
Al2O3 (純度96%) |
|
| 密度 | g/cm3 | JIS R 1634 | 3.78 | |
| 機械的特性 | ビッカース硬さ HV9.807N | GPa | JIS R 1610 | 13.9 |
| 3点曲げ強さ | MPa | JIS R 1601 | 380 | |
| ヤング率 | GPa | JIS R 1602 | 340 | |
| 熱的特性 | 平均線膨張係数(40-400℃) | ×10-6K | JIS R 1618 | 7.0 |
| 熱伝導率(20℃) | W/(m・K) | JIS R 1611 | 26 | |
| 電気的特性 | 絶縁破壊強さ | kV/mm | JIS C 2141 | 15 |
| 体積抵抗率(20℃) | Ω・cm | >10E14 | ||
| 比誘電率(1MHz) | - | 9.6 | ||
| 誘電正接(1MHz) | (×10-4) | 3.0 | ||
| 保磁力 | A/m | - | 非磁性 | |
※これらの値はテストピースの測定による参考値です。特性値は製品の形状、寸法および使用条件により異なる場合があります。
デザインガイド
ガラス接合法
拡散接合法
デザインガイド(パンチング形状)
底基板設計
| 材質 | 最大サイズ(mm) X × Y × 総厚み |
テープ単板厚み(mm) | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 |
AO476T | 200×200×3.2 | 0.32~2.7 |
加工設計
| 設計標準 | ||
|---|---|---|
| 穴径 | MIN | 0.3mm |
| ウェブ厚み(a) | MIN | 0.2mm |
|
アスペクト比 (テープ単板厚み/ウェブ厚み) |
≦2 | |

デザインガイド(支柱形状)
底基板設計
| 材質 | 最大サイズ(mm) X × Y × 総厚み |
テープ単板厚み(mm) | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 | AO476T | 300×400×3 | 0.32~2.7 |
支柱設計
| 設計標準 | ||
|---|---|---|
| 材料 | AO476T | |
| 形状 | 円柱形状 | |
| 径 | MAX | φ20mm |
| MIN | φ10mm | |
| 高さ | MAX | 11mm |
| MIN | 1mm | |

デザインガイド(中空形状)
底基板設計
| 材質 | 最大サイズ(mm) X × Y × 総厚み |
テープ単板厚み(mm) | |
|---|---|---|---|
| Al2O3 |
AO476T | 450×200×15 | 0.32~2.7 |
中空内部設計
| 設計標準 | |||
|---|---|---|---|
| 流路幅(A) | MAX | 20mm | |
| MIN | 2mm | ||
| リブ | 幅(B) | MIN | 3mm |
| 高さ(C) | MAX | 10mm | |
| MIN | テープ単板厚み | ||
| ライン&スペース | <7 | ||
| アスペクト比 | <2 | ||
| 壁厚み(D) | 2.6mm | ||

本ページに記載の数値は全て社内測定による代表値であり、製品の仕様を保証する値ではありません。
















