ファインセラミックス

セラミックキャリアプレート

グリーン(※)シート積層・グリーン(※)接合技術が高自由度な設計を実現します。 (※)グリーン=成形体

多彩なラインナップ

  • パンチング形状

    パンチング形状
  • 支柱一体形状

    支柱一体形状
  • 中空形状

    中空形状
  • 側面断面図

    パンチング形状(断面構造)
  • 側面断面図

    支柱一体形状(断面構造)
  • 側面断面図

    中空形状(断面構造)
  • パンチング形状

    パンチング形状
  • 側面断面図

    パンチング形状(断面構造)
  • 支柱一体形状

    支柱一体形状
  • 側面断面図

    支柱一体形状(断面構造)
  • 中空形状

    中空形状
  • 側面断面図

    中空形状(断面構造)

アプリケーション技術

ご使用用途に応じて2つのアプリケーション技術をご提案

ガラス接合法

接合界面部
接合界面部
製品参考例
製品参考例
同工法の特長
  • 接合後のレーザー加工により、微細かつ高精度な形状を実現
  • 複雑な流路や異形状の組み合わせに柔軟に対応可能

グリーン(※)接合法 (※)グリーン=成形体

接合界面部
接合界面部
製品参考例
製品参考例
同工法の特長
  • 接合界面が一体化するため、極めて高い接合強度を発揮
  • 接合剤を使用しないため、母材と同等の高耐熱性を維持
推奨工程
  • 高温熱処理が必要な工程
  • 薬液洗浄を伴う工程
  • パーティクルを嫌う工程
  • 複雑な中空構造や微細な位置決めが求められる搬送工程

特性データ

対応可能な材質:AO476T(96%アルミナ)

特性 単位 AO476T
材料 - - Al2O3
(純度96%)
密度 g/cm3 JIS R 1634 3.78
機械的特性 ビッカース硬さ HV9.807N GPa JIS R 1610 13.9
3点曲げ強さ MPa JIS R 1601 380
ヤング率 GPa JIS R 1602 340
熱的特性 平均線膨張係数(40-400℃) ×10-6K JIS R 1618 7.0
熱伝導率(20℃) W/(m・K) JIS R 1611 26
電気的特性 絶縁破壊強さ kV/mm JIS C 2141 15
体積抵抗率(20℃) Ω・cm >10E14
比誘電率(1MHz) - 9.6
誘電正接(1MHz) (×10-4 3.0
保磁力 A/m - 非磁性

※これらの値はテストピースの測定による参考値です。特性値は製品の形状、寸法および使用条件により異なる場合があります。

デザインガイド

ガラス接合法

ガラス接合法

拡散接合法

拡散接合法

デザインガイド(パンチング形状)

底基板設計

材質 最大サイズ(mm)
X × Y × 総厚み
テープ単板厚み(mm)
Al2O3
AO476T 200×200×3.2 0.32~2.7

加工設計

設計標準
穴径 MIN 0.3mm
ウェブ厚み(a) MIN 0.2mm
アスペクト比
(テープ単板厚み/ウェブ厚み)
≦2

デザインガイド(支柱形状)

底基板設計

材質 最大サイズ(mm)
X × Y × 総厚み
テープ単板厚み(mm)
Al2O3 AO476T 300×400×3 0.32~2.7

支柱設計

設計標準
材料 AO476T
形状 円柱形状
MAX φ20mm
MIN φ10mm
高さ MAX 11mm
MIN 1mm

デザインガイド(中空形状)

底基板設計

材質 最大サイズ(mm)
X × Y × 総厚み
テープ単板厚み(mm)
Al2O3
AO476T 450×200×15 0.32~2.7

中空内部設計

設計標準
流路幅(A) MAX 20mm
MIN 2mm
リブ 幅(B) MIN 3mm
高さ(C) MAX 10mm
MIN テープ単板厚み
ライン&スペース <7
アスペクト比 <2
壁厚み(D) 2.6mm

本ページに記載の数値は全て社内測定による代表値であり、製品の仕様を保証する値ではありません。

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