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  サファイア基板
基板の薄型化や大型化、レーザー加工で複雑・微細・高精度な加工も対応可能
      
      
京セラのサファイア基板(サファイアウェハー、サファイアウエハ)は、丸状、角状の基板の加工や、厚さ0.03mmまでの薄型化、最大Φ500mm (or 500角) の大型化に対応しています。
その他、レーザーによる穴加工やスクライブ加工などの複雑な加工も対応可能です。
※面方位によって対応可能サイズは異なります。
- キーワード:
- 耐熱性
- 耐プラズマ性
- 低誘電損失
製品データ
| 材料 | 単結晶サファイア | 
|---|
基板標準仕様

基板加工技術
基板薄型化加工
サファイアは単結晶材料のため、0.1mm未満まで薄くしても基板として活用可能で、また、薄くすることで、弾性変形を活用することもできます。

基板大型化

※対応可能サイズは面方位や厚みに応じて変わるため、詳細についてはご相談ください。
レーザー加工


その他の加工技術
スクライブ加工

ビア埋め

京セラ製サファイア基板の強み

サファイアの特徴
1.単結晶で原子配列が一定
2.粒界がなく表面仕上げが滑らか

3.高い絶縁性で誘電損失が低い
4.任意の結晶方位の対応が可能


他材料との物性比較



























